物化性質(zhì)
外觀與性狀:無(wú)色氣體
密度:1.35
熔點(diǎn):-183 °C
沸點(diǎn):-39 °C
折射率:1.221
安全信息
危險(xiǎn)類別:2.2
危險(xiǎn)品運(yùn)輸編碼:2424
安全說(shuō)明:S9-S23-S38
危險(xiǎn)品標(biāo)志:F: Flammable;
用途
在微電子工業(yè)中用于等離子蝕刻以及器件表面清洗,也用于低溫制冷,醫(yī)療用氣及氣體絕緣等。
編號(hào) | 產(chǎn)品名稱 | 含量 | CAS號(hào) | 結(jié)構(gòu)式 | 查看 |
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京公網(wǎng)安備 11010502038819號(hào)